恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質去除，并且在316L不銹鋼罐體中內置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

產品特點及規格:

1、耐高溫耐高壓耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結構

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件

透氣孔徑：

納米級：3nm、7nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米級的：0.003-100μm

產品應用

恒歌半導體氣體純化過濾器專業應用于半導體制程超純工藝氣體在線過濾、大流量電子級氣體超純凈化開發、集體氣體輸送分配、氣體限流，特別適用于惰性氣體和反應性氣體的過濾。