高純度氣體過濾器_大宗氣體專業(yè)純化過濾器_大流量氣體過濾器

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

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產(chǎn)品詳情

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設(shè)計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

產(chǎn)品特點

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 適用于多種工藝氣體

? 適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

? 100%完整性測試

? 100%氨氣檢漏測試

恒歌大宗氣體專用過濾器有著多種規(guī)格型號，可提供OEM定制服務，按照您的需求設(shè)計生產(chǎn)大宗氣體專用過濾器，為您的項目提供最專業(yè)的過濾解決方案。

產(chǎn)品參數(shù)

濾芯材質(zhì)	316L不銹鋼粉末燒結(jié)		殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
最大進氣壓力	207bar		最大工作壓差	5.2bar
氦氣驗證泄漏率	2x10^-10cc/min		氦氣測試泄露率	1x10^-10cc/min
表面處理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用溫度	惰性氣體	400-500°C
	內(nèi)表面	Ra < 0.2μm		腐蝕性氣體，反應氣體	50°C
顆粒攔截效率	≥99.9999999%(9LRV)@30slpm		下游潔凈度	≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm
顆粒攔截粒徑	≧0.003μm